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1清洗清洁：真空油的另一个作用就是通过循环流动，能够将真空泵零件上的附生成物、油泥、金属磨损颗粒等脏东西带回油底壳，达到清洗清洁的效果。
2.密封防漏：真空油还可以在有相对运动的零件间形成油膜，来提高它们的密封性，有利于防止漏气或漏油。
3.防锈防蚀：真空油通过零件的运动，会在零件表面形成油膜，这层油膜可以吸附在零件表面上，防止水、空气等与零件表面接触而使零件腐蚀生锈。
4.冷却降温：真空油能够将压缩室中的部分热量带回油箱，再散发至空气中，起到帮助冷却液冷却真空泵的作用。
5.减震缓冲：当真空泵启动时，压缩室压力急剧上升，突然加剧叶片、轴承、轴封、排气阀片的负荷，这个负荷经过轴承的传递润滑，吸收冲击并减小振动，起到缓冲的作用。
